石英振動(dòng)體清洗機(jī)[高頻率]｜W-357-1MQG-SKC

石英振動(dòng)體類型

下一代清洗技術(shù)，實(shí)現(xiàn)低損害和高清潔度

在這種方法中，通過(guò)在石英振動(dòng)體上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗。

與批量清洗和流水清洗相比，可以減少化學(xué)品的使用量，由于只有石英玻璃與液體接觸，沒有墊片等橡膠材料與液體接觸，因此能保持較高的清潔度。

石英振動(dòng)體有不同的形狀，以適應(yīng)不同的用途，能夠根據(jù)需要進(jìn)行有效的清洗，如低損傷清洗、大面積清洗、斜面（邊緣表面）和缺口（晶圓邊緣表面的缺口）的清洗等。

特長(zhǎng)

對(duì)具有細(xì)微結(jié)構(gòu)的晶片進(jìn)行低損傷清洗

■通過(guò)在石英振動(dòng)元件上疊加超聲波對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行清洗。

將超聲波振動(dòng)從石英振動(dòng)元件通過(guò)化學(xué)溶液傳播到半導(dǎo)體晶片上，接觸區(qū)的化學(xué)溶液振動(dòng)，加速去除表面污染。

■清潔度高，對(duì)半導(dǎo)體晶圓的損害最小。

與使用橡膠材料（如墊片）的設(shè)備相比，使用石英與化學(xué)溶液接觸，可以確保清潔，而不會(huì)有橡膠溶出。

■震蕩器冷卻功能通過(guò)用氣體（如氮?dú)猓├鋮s震蕩器，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)工作，沒有頻率波動(dòng)。

冷卻還能確保沒有溫度的突然變化，從而延長(zhǎng)使用壽命。

用途

膠體殘留物的清除

封邊和灰化后的聚合物清除

柵電極極清洗

CMP后的清洗