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主要特點(diǎn)
利用白光干涉的非接觸式高精度精細(xì)表面紋理測(cè)量→3D形狀測(cè)量、3D粗糙度測(cè)量
高度測(cè)量精度與光學(xué)放大倍率無(wú)關(guān)
即使使用低倍率鏡頭也可進(jìn)行高 Z 分辨率測(cè)量
高縱橫比測(cè)量
支持高縱橫比形狀測(cè)量，檢測(cè)不依賴(lài)于光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑
抗干擾振動(dòng)的高魯棒性
小巧輕便
554-001
WLI-unit-003
554-002
WLI-unit-005
554-003
WLI-unit-010
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