抗蝕劑設備等半導體制造工藝中，平臺的表面溫度測量非常重要。
使用安立計器的「溫度記錄儀 AM-9000系列」和「自重型表面溫度傳感器 WE系列」可簡單的將傳感器放置于測量點上，并同時測量記錄多個點的溫度分布。并且可在電腦上確認圖表，進行解析。
AM-9000K
(-200～1370℃)
AM-9000 系列產品是簡便型溫度記錄儀。
可以記憶儲存數據于主機。
?使用USB數據線傳送數據到電腦
?可利用準用軟件「AMS-950」（另售）進行數據解析。
專用解析軟件AMS-950（英文版）另售。
?記錄數據可轉送至電腦制圖和制表。
?記錄的數據可轉換成CSV文檔，可利用Excel等自由編輯數據。
?也可轉換成XPS文檔，以防止數據被串改。
WE-33K-TA1-ANP
溫度范圍：-50～200℃
WE系列產品頭部內藏砝碼、只需放置于被測物表面即可測量溫度。頭部大小?材質等可自由選擇，可以根據客戶的用途進行選配。
